进作用。
超透镜说白了和相控阵雷达很相似,都是由无数个小单元组成,经计算机处理合成成像,原理都差不多。
国内有一流的相控阵雷达(如相控阵雷达、航母四面阵雷达),也将有一流的超透镜。
有了技术成熟的超透镜,国内就可以实现从第二代DUV光刻机向第四代超透镜光刻机的技术跨越。
“周院长,恭喜你们!你们这个项目取得了重大突破,是非常有意义的一件事情。
之前在EUV光刻机的研发过程中,物镜系统就是最大的拦路虎。尽管光机所已经完成了这个子项的研发,但进度也延迟了太长的时间,使得总体项目最起码拖后了两三年。”
萧白听完,也不禁感慨了一番。
物镜系统的关键是光学镜头,而这一块,国内的技术水平和国际巨头们相差较大。
尼康和佳能本身就是光学镜头的顶尖制造商,所以他们在光刻机方面曾经领先了很多年。而阿斯麦生产的光刻机,则采用了卡尔蔡司的光学镜头,在技术上也有保障。
浦东微电子设备由于进口受限,很多关键的零部件都没办法进行采购,只能寄希望于国产。
这才是国内组织多家科研院所,参与到EUV光刻机的研发过程中的主要原因。
但在超透镜方面,大家的起点是一样的。
国内目前已经基本上攻克了光刻机的光源系统和对准系统,只要有了一流的超透镜,那么在第四代光刻机这个赛道上,就不至于掉队。
这件事的意义正如萧白所说的那样,非常重大。
“是啊,萧董。现在国内的EUV光刻机研发已经进入到了冲刺阶段,再有两三年就能拿出来第一台样机。
虽然在技术上我们和国际巨头相比还有差距,但也为第四代光刻机的研发打下了坚实的基础。”
周思毅笑着点点头,他对于未来充满了期待。
“这样,周院长,回头我再给你们拨付20亿美元的研发经费,你们一定要尽快拿下超透镜技术。”
萧白在技术投入上一向很大方,这一次也不例外。
“萧董,请你放心!有了足够的资金支持,我这边一定会加快研发的进度,很快就会见到成果。”
周思毅信心满满,他本来也想和萧白提经费的事情,没想到还没开口就拿到了20亿美元。
这个数字比他形象的还要多很多。
随后,萧白在周思毅的陪同下,视察了研究院的各部门以及各个项目小组。
对于时代科技研究院取得的成绩,他感到很欣慰。
萧白在这边一直呆到下午,直到下班前他才离开,然后就乘车回到了家里。
他今儿心情不错,吃晚饭的时候还特意喝了几杯红酒。
目前时代系的整体局面已经稳定了下来,未来的困难虽说还有不少,但总体的趋势依旧向好,基本上不会被外
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